上海丽驰计量仪器有限公司

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日本KOSAKA台阶仪

ET200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。  日本KOSAKA台阶仪ET200产品特点 二次元表面解析，可测量段差 高精度、高分辨率和良好的再现性 FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等 低测定力，可测定软质材料

型号

ET200

样品尺寸

φ160x48mm

样品台

尺寸

φ160

倾斜度

±2°（X,Y手动）

承重

2Kg

检出器

触针力

10μN-500μN（1mg-50mg）

范围

600μm（0.1nm分辨率）

驱动

直动式（差动变压器）

触针

R2μm  顶角60°

X轴

测长

100mm

直线度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重复性

±5μm（定位）

Y轴

测长

25mm/手动

Z轴

测长

50mm

放大倍数

垂直

50-2000000

水平

1-10000

监控系统

摄像装置

1/3 inch CCD

监视装置

视频捕捉板

移动方法

手动

辅助功能

教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等

应用

成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度

重复性

1σ1nm

电源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外观尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）

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